Система очистки газов Busch Vacuum Solutions GABA AFC 050 A
Описание:
Системы очистки газов GABA AFC предназначены для сокращения или удаления опасных газов и загрязнителей воздуха во время производственных процессов. В основном они изменяют химический состав газов. Комбинируя беспламенное каталитическое термальное окисление и технологии очистки термальных влажных газов, можно обрабатывать как горючие, так и растворимые газы. В GABA AFC используется высокотемпературный нагреватель с нагретыми катализаторами. Это обеспечивает превосходное сгорание без пламени. Для повышения эффективности удаления целевых газов крайне важны соответствующая температура и правильные рабочие жидкости. Данная термическая система обеспечивает стабильные условия обработки при одновременной выработке значительно меньшего количества побочных продуктов (таких как NOx, CO2, и т. д.). После этого водорастворимые газы, побочные продукты и горячие газы из камеры реактора обрабатываются во влажной камере. Во избежание загрязнения во время технического обслуживания системы GABA AFC разрабатывались как системы с возможностью полной замены. Все модули можно заменить по отдельности, не открывая камеру. Системы очистки газов серии AFC поставляются в стандартной комплектации с четырьмя технологическими входами. Таким образом, эту систему можно подключить к четырем различным камерам технологического инструмента или к нескольким инструментам в зависимости от области применения.
Характеристики:
Мощность: 500 slm
Энергопотребление (средн.): 6 кВт
Азотопотребление (средн.): 40 slm
Расход воды (средн.): 5 slm
Мин. выхлоп газа: 2 м³/мин
Выхлоп шкафа: 1,5 м³/мин
Размеры: 1000 мм*930 мм*1900 мм
Размеры с 3-ходовым клапаном (опция): 1000 мм*930 мм*2340 мм
Вес, прибл. (сухой): 700 кг
Вес, прибл. (влажный): 740 кг
Мин. зазор: 1000 мм (спереди), 300 мм (сбоку), 500 мм (сзади), 500 мм (сверху)
Впуск газа: фланец NW 40 (4 порта для впуска газа, 4 обходных порта)
Выпуск газа: фланец NW 100
H₂ (водород): > 99 %
SiH₄ (кремневодород): > 99 %
NF₃ (трехфтористый азот): > 95 %
NH₃ (аммиак): > 99 %