Система очистки газов Busch Vacuum Solutions GABA AWE 050 AE

GABA AWE — это наши инновационные мокрые скрубберы, специально разработанные для критических процессов EPI в полупроводниковой промышленности. Они сочетают в себе максимальную безопасность в эксплуатации с высочайшим уровнем устойчивости процесса. Наша серия AWE оснащена запатентованным входом для токсичных газов, предотвращающим засорение входа в скруббер. Это ведет к увеличению срока службы и одновременно к снижению эксплуатационных расходов. Техническое обслуживание сводится к замене превентора засорения входа через определенные межсервисные интервалы. Это можно легко выполнить без разборки устройства. Специальная конструкция GABA AWE делает отделение побочных продуктов от производственного процесса в уловителе конденсата устаревшим. Мокрый скруббер способен обрабатывать все технологические остатки, не блокируя впуск газа. Водорастворимые побочные продукты вступают в реакцию в орошающей жидкости, твердые вещества отделяются в виде частиц или откачиваются вместе со сточными водами во время работы. Вакуум для производственного процесса поставляется и активно контролируется с помощью устройства Вентури с частотным регулированием. Это обеспечивает постоянное давление процесса в производственной установке и ее бесперебойную работу. Все настройки процесса можно выполнить с помощью программируемого логического контроллера (ПЛК) с цветным дисплеем и сенсорным экраном.